JPS9010MCのアルゴンスパッタ装置に関する情報はあまりないが、最新のJPS9030のパンフレットの中にアルゴンスパッタ装置の情報があり、外観的には9010と変わりがないように見える。電圧の設定は9010MCが400Vからなのに対して、9030は300Vから設定できるようだ。なお、9010MCについても400V以下については自分で調整すれば設定可能みたい(manu設定)。
JPS9010MCのアルゴンスパッタ装置に関する情報はあまりないが、最新のJPS9030のパンフレットの中にアルゴンスパッタ装置の情報があり、外観的には9010と変わりがないように見える。電圧の設定は9010MCが400Vからなのに対して、9030は300Vから設定できるようだ。なお、9010MCについても400V以下については自分で調整すれば設定可能みたい(manu設定)。
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