JPS9010MC:光電子分光装置のターボ分子ポンプ交換

 実験で使っている光電子分光装置JPS-9010MCのターボ分子ポンプ(TMP)が壊れたので、島津の真空ポンプにつけかえた。

やったこと

・ターボ分子ポンプを交換

・ロータリーポンプも別に準備

・窒素リークバルブは元々、TMPについているので、別にリークバルブをとりつけた

・GIV(ガスインレットバルブ)はインターロックに連動しているので、直流電源を使ってバルブの開け閉めをするときは24Vをかける

交換した結果

・常に「VENT」ランプがつきっぱなしになる。

・真空引きの時はTMPとロータリーをそれぞれスイッチを入れる。

・V1バルブを開けるときは注意する

・「PROTECT」スイッチを切っておく

・そのため、ベーキングは手動

ターボ分子ポンプの型番：Pfeiffer TPU-240

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