XPS測定をIgor Proで扱うための手順

 １．XPS分析装置において、実験データをtxtデータで保存する。

２．txtデータをIgor Proで開く

「データ」→「ウェーブをロード」→「一般テキストをロード」

３．そうすると、結合エネルギーと光電子カウント数が別々のウェーブで得られる。

（例えば、wave0とwave1）

４．Igor Proから、「ウインドウ」→「新規グラフ」→「Xウエーブ」（X軸）、「Yウェーブ」（Y軸）を選んであげると、グラフを表示することができる。

５．Shirley型のバックグラウンドを引くには、別途、XPST tool 1.1をダウンロードしてインストールする必要あり。