TMPエラー

金曜日（8/29）に休みを取って、 今朝、出勤したら、XPSのターボ分子ポンプが止まっていた(Pfeiffer TCP120)。以下の対応をとってみたが、真空度が0.15Paぐらいより上がらず、そのうち、TMPポンプエラーで止まるので、どこかがリークしているようだ。

（0.15Paは、ゲージにおいて、Lランプがついて、少し真空をひいたところ。）

・先週（8/27(水)）に交換したアルゴンスパッタ用フィラメント周辺を再度、組みなおし。

・サンプル交換用の蓋のOリングを外して、キムワイプで拭いて確認。

トラブルに気づいて、サンプル交換用の蓋を開けたときに、シューシューと空気が漏れているような音がした。通常時は、そのような音はした記憶がない。何度か開け閉めをしているとそのような音がしなくなった。