方式/エネルギー範囲/プラズマ密度/中性子量/長所/短所
カウフマン型/100-1500 eV/中/多/均一性高、制御容易/帯電ダメージ
電子サイクルトロン共鳴（ECR）/数keV以上/高/少/高エネルギー、高密度/装置が複雑
ICP/数十eV-数keV/高/中/微細加工向け/コスト高
ダイオード型/～数keV/低/多/構造単純/均一性低
ホローカソード型/～数百eV/中～高/少/高電流密度/設計が難しい
クラスターイオン/数eV-数百eV/低/極少/低ダメージ/加工速度が遅い
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